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影響硅片拋光去除速率和表面質(zhì)量的主要因素都有那些？ 化學(xué)機械拋光是目前最為常見的半導(dǎo)體材料表面平面技術(shù)，它是機械摩擦與化學(xué)腐蝕相結(jié)合了兩者優(yōu)點的工藝；可以獲得較為完美的晶片表面。硅片在采用陶瓷拋光機進行拋光工序時，影響加工過程中去除速率與加工表面質(zhì)量的因素以以下幾點為主： 1.化學(xué)因素 化學(xué)因素其中包含著：拋光液中的PH值、拋光液的濃度值、流量拋光過程中控制的溫度。其中以拋光液中的PH值對去除率影...

氧化鋁陶瓷基片在使用陶瓷研磨機加工前需要做那些準備？ 氧化鋁陶瓷片基片具有硬度高、脆性大、易產(chǎn)生裂紋，表面加工難度在，且加工后很難保證表面質(zhì)量與完整性。為了讓陶瓷研磨機/拋光機能加工出優(yōu)質(zhì)的加工表面，氧化鋁陶瓷基片在進行加工前需要對基片進行清洗步驟如下： 1.將氧化鋁陶瓷基片浸沒入無水乙醇溶液中，放置十分鐘后取出，采用棉簽擦拭表面不潔凈處。這樣能去除基片表面原有的有機物等污染。 2.先用離子水沖洗被水乙...

最適合藍寶石晶片高精密加工方法都有那些？ 藍寶石具有硬度高，脆性大，化學(xué)性穩(wěn)定是作為光學(xué)材料的優(yōu)良，但同時也是加工的難點。想要獲得加工表面超光滑的藍寶石，可以采用以下加工方法： 1.水合拋光 水合拋光其原理是：在陶瓷拋光機加工過程中拋光盤與藍寶石表面產(chǎn)生的摩擦，接觸點產(chǎn)生高溫高壓，藍寶石表面的原子呈活性化，利用過熱水蒸汽氣分子和水作用其表面，使之在界面上形成水合化學(xué)反應(yīng)層，再借助過熱水的...